«Наука в Сибири» № 24 (2959) 19 июня 2014 г. ДВА В ОДНОМ Институт сильноточной электроники СО РАН посетила иностранная делегация ученых и специалистов из крупного европейского научно-исследовательского учреждения — Национального центра ядерных исследований Польши. О. Булгакова, г. Томск Целью визита стало тестирование и приём оборудования, изготовленного по заказу польских партнеров ИСЭ СО РАН и компанией «Микросплав», которая входит в состав кластера инновационных компаний Томского научного центра СО РАН «Новые материалы и наукоёмкие технологии». Институт сильноточной электроники СО РАН на протяжении многих лет является признанным мировым лидером в сфере разработки сложнейшего электрофизического оборудования, предназначенного как для фундаментальных исследований, так и для использования в различных высокотехнологичных отраслях промышленности. Проф. Збигнев Вернер и ведущий научный сотрудник ИСЭ Григорий Озур в процессе тестирования оборудования. — Наш научный коллектив изучает влияние электронного пучка и импульсных плазменных пучков на модификацию поверхности материалов, — рассказывает Збигнев Вернер, профессор Национального центра ядерных исследований Польши. — Ранее у нас уже был успешный опыт сотрудничества с Институтом сильноточной электроники, который имеет высокий авторитет среди специалистов Европы и США. В 2002 году мы заказали в институте источник плазменных дуговых разрядов, предназначенный для нанесения плёнок на поверхность. Поставленный нам тогда ускоритель «Титан» активно применяется для исследований. Но у нас возникла потребность в новейшем, передовом оборудовании. Мы предполагали заказать два отдельно работающих устройства, но Институт сильноточной электроники совместно с компанией «Микросплав» смогли разработать единый комплекс. Для Польского ядерного центра впервые в мире изготовлена установка, в который совмещены две уникальные возможности — возможность имплантации материалов многозарядными ионами и возможность отжига дефектов, возникающих в этих материалах при имплантации, с помощью импульсного сильноточного электронного пучка. Это оборудование предназначено для получения как полупроводниковых, так и металлических материалов, обладающих качественно новыми свойствами, которые будут использоваться в области микроэлектроники и приборостроения. Польские специалисты привезли с собой ряд образцов: первые эксперименты были проведены уже на томской земле. Обе стороны надеются на продолжение сотрудничества и уже наметили для себя дальнейшие направления совместной работы. Фото В. Бобрецова стр. 1