Новости

Академик Александр Васильевич Латышев
09.08.2018
Академик Александр Латышев о создании Центра нанотехнологий в Новосибирском научном центре СО РАН

Директор Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН академик Александр Латышев
— Проведение предпромышленных испытаний новых технологий и образцы для них (например, полупроводниковые подложки) требуют иного, чем есть у нас в институте, оборудования. Производственникам нужны другие размеры тех же подложек, с диаметром 100 и более миллиметров, тогда как имеющиеся у ИФП СО РАН ростовые установки имеют максимальный диаметр пластин 76 миллиметров. А главная проблема — в их количестве, предоставляемом на тестирование: заводам нужны не единицы, а десятки и даже сотни.<>
Проектируемый Центр будет отличаться от привычных ЦКП как раз тем, что его предполагается оснастить не столько аналитическим, сколько технологическим оборудованием: плазменного травления, магнетронного напыления, литографическим и т.п.  <>
Если говорить об индустриальных заказчиках, то созданные технологии должны быть скорейшим образом переданы на предприятия: АО «Новосибирский завод полупроводниковых приборов с особым конструкторским бюро», ОАО «Научно-исследовательский институт измерительных приборов — Новосибирский завод имени Коминтерна», ОАО «Октава», ООО «Медико-биологический союз», Государственный научный центр вирусологии и биотехнологии «Вектор» и десятки промышленных предприятий по всей территории России.